半导体洁净车间 FFU 节能改造

半导体洁净车间 FFU 节能改造

-高能效 EC 电机 + 低阻高效过滤器,实现洁净性能与节能降耗兼顾

3191 台

FFU更换数量

413万 kWh

年度累计节省电量

¥238万

年度累计节省电费

71.41%

整体能耗下降

    在半导体制造过程中,洁净室需要持续控制空气中的颗粒物,以满足生产环境对洁净度的严格要求。而 风机过滤单元(FFU)正是洁净室空气循环与过滤系统中的重要设备。大量 FFU 安装在洁净室吊顶上,通过风机持续驱动空气经过高效过滤器,再将洁净空气送入生产区域。这意味着:

    FFU 数量越多、运行时间越长,风机和过滤器所产生的能耗就越值得关注。

    对于大型半导体洁净室而言,即使单台 FFU 的功耗差异看起来并不大,当设备数量达到数千台后,长期累积的能源消耗也会非常可观。与此同时,过滤器阻力也会直接影响 FFU 的运行负荷。

项目背景

    某大型半导体制造企业的洁净车间长期保持高负荷运行,随着生产规模扩大,大量 FFU 持续运行所带来的能源消耗日益突出。高能耗、高运营成本逐渐成为企业面临的重要问题。在保证洁净室环境和生产稳定性的同时,如何降低 FFU 系统长期运行产生的能源成本,成为客户亟需解决的问题。为此,客户希望爱能净化针对现有洁净室 FFU 系统进行评估,并提供一套切实可行的节能改造方案,在不影响洁净性能的前提下,帮助企业降低能耗、减少运营成本。

FFU更换-爱能净化

爱能的解决方案​

01|高能效 EC 电机 FFU​

    采用高能效 EC 电机,提高风机运行效率。相比传统风机系统,通过优化电机及风机运行效率,在满足洁净室所需风量的同时降低运行功耗。对于需要长期连续运行的半导体洁净车间而言,设备运行效率的提升能够直接转化为长期能源成本的降低

02|低阻力玻璃纤维高效过滤器​

    过滤器是 FFU 系统的重要阻力来源之一。本项目采用低阻力玻璃纤维高效过滤器,在满足洁净度要求的基础上降低空气通过过滤器时的阻力。

     更低的过滤阻力 → 风机运行负荷降低 → 系统运行能耗下降。

    因此,过滤器并不仅仅决定空气过滤效率,同时也会影响整个 FFU 系统的运行能耗。</p>
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节能效果对比

本项目通过高能效 FFU 与低阻高效过滤器的组合应用,在保持稳定送风和洁净性能的同时,有效降低系统运行能耗,实现能源效率、稳定送风与洁净室性能的综合优化

项目

Q1

Q2

Q3

Q4

合计

实际耗电量(kWh)

416,460

412,620

403,800

422,310

1,655,190

原系统理论耗电量(kWh) ​

1,447,437.6​

1,447,437.6​

1,447,437.6​

1,447,437.6​

5,789,750.4​

节省电量(kWh) ​

1,030,977.6​

1,034,817.6​

1,043,637.6 ​

1,025,127.6 ​

4,134,560.4​

节省电费(元)​​

628,896.33 ​

579,497.90 ​

592,128.66 ​

583,061.82 ​

2,383,584.71​

客户价值

降低运营成本

年度累计节省电费近240万元

提高能源利用率

系统整体能耗下降 71.41%

稳定洁净性能

持续满足半导体高等级洁净要求

助力绿色制造​

累计节电超413万度,有效助力企业实现节能减排及ESG目标。

    爱能净化|20+年空气过滤与洁净环境解决方案经验

    我们专注于洁净室空气过滤解决方案,从产品选型到系统优化,帮助客户在洁净性能、运行效率与长期运营成本之间找到更优平衡。如果您的洁净室同样面临长期运行能耗高、运营成本高等问题,并且正在考虑节能改造,欢迎联系我们,获取针对您项目的解决方案。

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